石墨坩埚问题体现在:
新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶。
石墨坩埚因使用时间过长,其原有的厚度氧化降解而大为减薄。
石英坩埚问题体现在:
石英坩埚在放入时用力过量,底部受到损伤而产生隐裂。
在装底部料时大块的硅料撞击到石英坩埚底部产生隐裂。
坩埚上部装入太多的大料,熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。
石英坩埚因受到外力损伤已产生隐裂,熔料过程中发生破裂。
在石英坩埚的生产、包装、运输中受到损伤而产生隐裂。
现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,试金坩埚批发,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,试金坩埚生产厂家,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英质脆,易破,济南试金坩埚,使用时要注意。
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